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真空测量的研究对象-真空计

真空技术中习惯以各向同性的中性气体的压力来表示真空度的高低。通常把用于测量比大气压小得多的气体压力的工具称为真空计或真空规.由干指定空间内被测气体大多数为混合气体.因此.一般意义上的真空测量应属于混合气体的全压力测量。所用的真空计也是测量全压力的真空计.

真空测量技术还包括气体成分分析和分压力测量两方面内容。前者是指定性地判断残余气体中包含有哪些种类气体成分并大略估计各自所占的比例.后者则是指在能满足一定精度要求的条件下定量测定各种气体成分的分压力值。所使用的仪器基本是不同类型的质谱计.分别称为残余气体分析仪和分压力计。

目前所采用的真空计.一种是从其本身测得的压强物理量中直接算出气体的压力值.这就是绝对真空计,另一种是通过与气体压力有关的物理量以间接方法反映出所测的气体压力值.这就是相对真空计。由于相对真空计必须通过绝对真空计的校准才能准确地对真空度进行测量.因此在真空测量技术中除了应包括对气体全压力和分压力的测量外.还必须把真计的校准问题纳入其内。

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