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半导体行业常用的真空计种类


半导体行业中常见真空计有电阻真空计(皮拉尼真空计)、热电偶真空计、电容真空计、电离子真空计、冷阴极电离真空计和全量程真空计等。其中冷阴极电离真空计又分为潘宁规、磁控管规和反磁控管规三种川。全量程真空计是低真空计和高真空计的组合;电阻真空计量程宽,比较常用;热电俩真空计量程窄,结构简一单,不易损坏;电容真空计测量值不受气体种类的影响;电离真空计属于高真空计,会发热;冷阴极电离真空计属于高真空计,不发热,易维修;全量程真空计自动量程切换,使用方便。

现在的大多数真空计探测头和信号处理电路做在一起,这样能提高抗干扰能力并且促进其小型化。大多数探测头使用金属材质而不是玻璃材质,这样更结实小巧。真空计显示控制器也要求小型化,有的做到了体积为105mmx110mmx250mm,质量为1.3kg,带3个接头,每个接头可以接电阻真空计或冷阴极电离真空计等,这种智能型真空计控制器携带和使用都很方便。

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