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高新产业中真空泵的前景


现在真空行业中,无油、清洁度好、真空度高的无油真空泵越来越多的受到各行业的关注。我国在此工艺中的发展还刚刚起步,需要不断的实践。
如日本的真空工业,其中70%以上是用于半导体和液晶显示(LCD)产业,一般传统的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此,日本干式真空泵中分子泵、低温泵发展得很快。目前真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统己被无油清洁的真空系统所代替。
从目前我国各类真空泵的市场份额和趋势可以看出,由于我国的真空工业的绝大部分是集中在一般传统的真空应用方面,所以高真空系统仍然以扩散泵为主,低真空和前级真空则以旋片式真空泵、滑阀泵为主。涡轮分子泵目前产最亦不大,大型的或复合型分子泵尚未形成批量生产,至于低温泵和各种类型的干式真空泵等则刚刚起步,无法满足半导体工业、LCD产业发展的需要。


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