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半导体工艺中干式真空泵的种类


油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,最主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。

在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。
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